楊東記
概要
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書目資訊
以電漿化學氣相沈積法蒸鍍SiO 及Si(C,N)薄膜之研究 = = Plasma-enhanced chemical vapor deposition of SiO and Si(C,N) thin films /
by:
楊東記; 郭東昊
(書目-語言資料,印刷品)
主題