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化學氣相層積法
概要
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雷射誘發經過裂解的乙稀以化學氣相層積法成長碳化矽與氧化鎢合成物之拉曼光譜研究 = = Raman spectroscopic studies on the laser inducedSiC/WO3 composites produced from decomposedethylene on Si substrate by hot filament chemicalvapor deposition /
by:
(書目-語言資料,印刷品)
主題
碳化矽
拉曼光譜
氧化鎢
化學氣相層積法
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