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簡吉鴻
概要
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磁控濺鍍法製備氧化矽、氧化鋯與矽酸鋯薄膜及其性質之研究 = = Silica、zirconia and zirconium silicate thin films prepared by magnetron sputtering /
by: 簡吉鴻; 郭東昊
(書目-語言資料,印刷品)
主題
磁控濺鍍法
材料科學
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